VINE 박막 두께 측정
박막 두께 측정을 보다 간편하게
TFM 시스템은 수동 측정, 자동 Mapping, 접촉형 측정 및 외부 시스템 연동을 지원하는 실용적인 반사광 기반 박막 두께 측정 플랫폼입니다.
TFM 시스템은 수동 측정, 자동 Mapping, 접촉형 측정 및 외부 시스템 연동을 지원하는 실용적인 반사광 기반 박막 두께 측정 플랫폼입니다.
측정 방식과 작업 환경에 적합한 TFM 시스템을 선택할 수 있습니다.
웨이퍼, 유리, 폴리머 및 코팅 시료의 두께를 측정하는 컴팩트 반사광 기반 TFM 시스템입니다.
웨이퍼, 유리, 패널 및 공정 시료의 다점 두께를 자동 Mapping하는 전동식 TFM 시스템입니다.
프로브를 시료로 이동하여 측정하는 방식으로 대형, 곡면 또는 설치된 코팅 부품에 적용하는 TFM 시스템입니다.
외부 제어, 원격 운용 및 장비 통합을 위한 TFM 측정 시스템입니다.
Lite는 TFM 시스템의 레시피 설정, 측정, 두께 분석 및 결과 검토를 지원합니다.