박막 두께 측정 시스템

TFM SERIES

VINE TFM Series 개요

측정 방식	반사광 기반 박막 두께 측정
핵심 작업 과정	간편한 레시피 설정과 실용적인 피팅 과정을 통해 박막 두께 측정을 보다 쉽게 수행할 수 있도록 구성했습니다.
측정 방식	수동 측정, 자동 XY Mapping, 접촉형 측정 및 외부 시스템 통합
TFM 제품 구성	TFM-100, TFM-500, TFM-Contact 및 TFM-Remote

모델 선택 가이드

시료 크기, 측정 방식 및 장비 통합 필요성을 기준으로 우선 검토할 시스템을 선택할 수 있습니다.

측정 요구 / 방식	권장 모델	시료 크기 / 취급	적합한 용도
수동 시료 측정	TFM-100	표준 스테이지는 최대 4인치 웨이퍼를 지원합니다. 최대 12인치 웨이퍼용 수동 스테이지 옵션이 있으며, 더 큰 크기는 협의 가능합니다.	일반 실험실 측정, 시료 테스트 및 레시피 기반 반복 측정
자동 XY Mapping	TFM-500	최대 12인치 웨이퍼와 300 mm × 300 mm 사각 시료를 지원하며, 370 mm × 470 mm 스테이지 옵션을 선택할 수 있습니다.	다점 Mapping, 균일도 검토 및 레시피 연계 데이터 저장
대형, 곡면 또는 설치된 코팅 부품	TFM-Contact	프로브 접근성, 표면 형상 및 고정 조건에 따라 다양한 대형 또는 비표준 시료에 적용할 수 있습니다.	일반 스테이지에 올리기 어려운 코팅 부품
외부 제어 / 장비 통합	TFM-Remote	시료 크기는 고객 측 스테이지, 장비 및 광학 구성에 따라 결정됩니다.	소켓 통신, 원격 운용 및 자동화 작업

공통 사양

공통 측정 사양이며, 실제 적용 조건은 시료 상태, 박막 구조, 광학적 대비 및 측정 레시피에 따라 달라집니다.

측정 방식	반사광 기반 박막 두께 측정
일반적인 측정 시간	단일층 측정 기준 일반적으로 1~2초
Spot 크기 옵션	5× 렌즈 사용 시 약 40 µm, 10× 렌즈 사용 시 약 20 µm이며, Spot 크기는 선택한 렌즈와 광학 구성에 따라 달라집니다.
지원 층 수	현재 표준 측정 과정에서 최대 3개 층을 지원합니다.
소프트웨어	Lite 포함
PC / Host 연결	기본 USB 연결을 지원하며, 원격 제어 또는 장비 통합이 필요한 경우 Ethernet 연결을 사용할 수 있습니다.

참고: 다층 구조는 층 수와 레시피 조건에 따라 추가 피팅 시간이 필요할 수 있습니다.

설치 조건

두 시스템 모두 일반적인 실험실 테이블에 설치할 수 있습니다. 아래 값은 최대 소비전력이 아니라 권장 설치 조건입니다.

모델	권장 설치 공간	입력 전원	권장 가용 전력
TFM-100	약 1000 mm × 800 mm 실험실 테이블	단상 AC 100–240 V, 50/60 Hz(220 V 기본)	200 W
TFM-500	약 1000 mm × 800 mm 실험실 테이블	단상 AC 100–240 V, 50/60 Hz(220 V 기본)	500 W

반복 측정 예시

반복 측정 예시로 SiO₂ 기준 시료의 동일 위치를 10회 측정했습니다.

실제 결과는 박막 구조, 기판, 광학적 대비, 시료 상태 및 측정 레시피에 따라 달라질 수 있습니다.

모델 옵션

아래에는 대표적인 모델별 범위를 표시했습니다. 실제 사용 가능한 범위는 시료와 레시피 조건에 따라 달라집니다.

10 nm 100 nm 1 µm 10 µm 100 µm 2,000 µm

Standard

15 nm–100 µm

NIR

1–500 µm

XT

100–2,000 µm

모델	파장 범위	두께 범위*	동일 위치 반복 측정 기준
Standard	350–1050 nm	15 nm – 100 µm*	500 nm SiO₂ 기준 시료, n=10
NIR	750–1100 nm	1 µm – 500 µm*	850 / 1000 nm SiO₂ 기준 시료, n=10
XT	1005–1080 nm	100 µm – 2,000 µm*	2000 nm SiO₂ 또는 투명 기준 필름, n=10

* 시료 상태, 박막 구조, 기판, 광학적 대비 및 측정 레시피에 따라 달라질 수 있습니다.

적용 사례

대표적인 시료 유형과 코팅 구조를 소개합니다. 각 적용 분야 페이지에서 추가 측정 고려사항을 확인할 수 있습니다.