주요 특징

이 TFM 시스템의 주요 특징입니다.

Standard, NIR, XT 옵션으로 박막부터 µm급 투명막 응용까지 대응합니다.

간단한 sample stack 설정으로 측정 recipe를 만들고, 저장한 recipe를 routine 측정에 반복 사용할 수 있습니다.

복잡한 광학 모델링 경험이 많지 않아도 실제 시료 측정을 시작할 수 있도록 구성했습니다.

웨이퍼, 유리, 폴리머, 코팅 및 feasibility test 시료에 적합한 컴팩트 수동 TFM 시스템입니다.

주요 사양

모델 옵션과 공통 사양입니다.

모델	파장 범위	두께 범위*	동일 위치 반복 측정 기준
TFM-100 Standard	350–1050 nm	15 nm – 100 µm*	500 nm SiO₂ 기준 시료, n=10
TFM-100 NIR	750–1100 nm	1 µm – 500 µm*	850 / 1000 nm SiO₂ 기준 시료, n=10
TFM-100 XT	1005–1080 nm	100 µm – 2,000 µm*	2000 nm SiO₂ 또는 투명 기준 필름, n=10

* 시료 상태, 박막 구조, 기판, 광학적 대비 및 측정 레시피에 따라 달라질 수 있습니다.

측정 방식	반사광 기반 박막 두께 측정
표준 스테이지 시료 지원	최대 4인치 웨이퍼를 지원합니다.
수동 스테이지 옵션	수동 스테이지와 고정구 옵션으로 최대 12인치 웨이퍼를 지원합니다.
대형 시료	더 큰 크기는 협의 가능합니다.
측정 Spot 크기	표준 약 2~4 mm이며, 더 작은 Spot은 광학 구성에 따라 달라집니다.
반복성 확인 예시	SiO₂ 동일 지점 반복성 예시, n=10
소프트웨어	Lite 포함
광원	텅스텐-할로겐 광원이 기본이며, UV-VIS 광대역 광원을 선택할 수 있습니다.
권장 설치 공간	약 1000 mm × 800 mm 실험실 테이블
입력 전원	단상 AC 100–240 V, 50/60 Hz(220 V 기본)
권장 가용 전력	200 W
표준 시료	기준 시료는 500 nm SiO₂이며, 요청 시 850 nm, 1000 nm 및 2000 nm 사양도 선택할 수 있습니다.

측정 결과 예시

반복 측정 예시로 SiO₂ 기준 시료의 동일 위치를 10회 측정했습니다.

실제 결과는 박막 구조, 기판, 광학적 대비, 시료 상태 및 측정 레시피에 따라 달라질 수 있습니다.

이 TFM 시스템의 대표적인 시료와 코팅 구조입니다.

이 TFM 측정 구성에서 사용할 수 있는 주요 액세서리입니다.

스테이지수동 스테이지수동 스테이지와 고정구 옵션으로 최대 12인치 웨이퍼를 지원하며, 더 큰 시료도 협의 가능합니다.

광원UV-VIS 광원UV-VIS 반사 측정을 위한 Broadband 광원 옵션

StandardSiO₂ 기준 시료기준 시료는 500 nm SiO₂이며, 요청 시 850 nm, 1000 nm 및 2000 nm 사양도 선택할 수 있습니다.

프로브반사 측정 프로브5 m 및 10 m 길이를 포함한 표준형 또는 장거리 프로브 옵션