수동 스테이지
수동 스테이지와 고정구 옵션으로 최대 12인치 웨이퍼를 지원하며, 더 큰 시료도 협의 가능합니다.
액세서리
TFM 측정 시스템용 액세서리
스테이지, 높이 보정, 카메라, 광원, 광학 필터, 프로브, 홀더, 기준 시료 및 장비 인터페이스용 액세서리입니다.
스테이지, 높이 보정, 카메라, 광원, 광학 필터, 프로브, 홀더, 기준 시료 및 장비 인터페이스용 액세서리입니다.
TFM 시스템에 사용할 수 있는 주요 액세서리와 옵션입니다.
수동 스테이지와 고정구 옵션으로 최대 12인치 웨이퍼를 지원하며, 더 큰 시료도 협의 가능합니다.
370 × 470 mm급 전동 스테이지 옵션입니다.
기준 시료는 500 nm SiO₂이며, 요청 시 850 nm, 1000 nm 및 2000 nm 사양도 선택할 수 있습니다.
5 m 및 10 m 길이를 포함한 표준형 또는 장거리 프로브 옵션
높이가 달라지는 시료와 자동 초점 지원을 위한 Z축 옵션 패키지입니다.
포토레지스트 감광 영향을 줄이기 위한 450 nm 또는 500 nm cut-on 옵션입니다.
표준 반사 측정 구성에 사용하는 조명 광원입니다.
UV-VIS 반사 측정을 위한 Broadband 광원 옵션
표면 관찰과 수동 초점 확인을 위한 현미경 장착형 카메라입니다.
곡면 또는 대형 코팅 부품에서 프로브를 안정적으로 배치하기 위한 홀더
µm 범위 투명 필름 측정 과정 확인용 PET 기준 필름
장비 통합을 위한 Trigger/Status Bit 통신 옵션