적용 분야

SiO₂ 두께 측정

반도체, 디스플레이, MEMS 및 광학 소자에 적용되는 산화막 두께 측정

SiO₂Si 웨이퍼TFM-100
SiO₂ 두께 측정 sample

시료 개요

  • ● Sample: Si 웨이퍼 위 SiO₂
  • ● Typical thickness: 수백 nm부터 µm 범위의 측정 사례
  • ● 측정 방식: 시료 상태와 광학적 대비를 고려한 반사광 기반 두께 측정

측정 고려사항

모델 선택은 박막 구조, 기판, 목표 두께 범위, 표면 상태 및 광학적 대비에 따라 달라집니다.

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