적용 분야

Al₂O₃ 박막 측정

절연막, 배리어막, passivation 및 광학 코팅에 사용되는 Al₂O₃ 박막 측정.

Al₂O₃금속코팅
Al₂O₃ 박막 측정 sample

시료 개요

  • Sample: 금속 또는 Mask 기판 위 Al₂O₃
  • Typical thickness: Sub-µm부터 수 µm까지의 측정 사례
  • 측정 방식: 시료 상태와 광학적 대비를 고려한 반사광 기반 두께 측정

측정 고려사항

모델 선택은 박막 구조, 기판, 목표 두께 범위, 표면 상태 및 광학적 대비에 따라 달라집니다.

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관련 TFM 시스템

TFM 시스템은 시료 형상, 필요한 처리량 및 측정 방식에 따라 선택합니다.