적용 분야

Si₃N₄ 두께 측정

유전체, Hardmask 및 Passivation 관련 공정의 Silicon Nitride 박막 측정

Si₃N₄유전체TFM-100
Si₃N₄ 두께 측정 sample

시료 개요

  • ● Sample: Si 또는 유전체 적층 구조 위 Si₃N₄
  • ● Typical thickness: 적용 조건에 따른 박막 두께 범위
  • ● 측정 방식: 시료 상태와 광학적 대비를 고려한 반사광 기반 두께 측정

측정 고려사항

모델 선택은 박막 구조, 기판, 목표 두께 범위, 표면 상태 및 광학적 대비에 따라 달라집니다.

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